

本次論壇安排了2個大會報告和3個邀請報告,圍繞“芯片製造電子電鍍裝備、材料和應用”“下一代集成電路器件電子電鍍”“芯片製造電子電鍍表界麵基礎和研究方法”等3個議題安排了16個專題報告。
自然科學基金委化學科學部常務副主任楊俊林主持開幕式,副主任詹世革出席。中國科學院過程工程研究所張鎖江院士、中國科學院化學研究所李玉良院士、北京大學彭練矛院士等來自全國高校、科研院所、相關企業的50餘位專家,以及自然科學基金委相關工作人員參加了本次論壇。
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